Item

Specification

Film尺寸

( ex. 500x500 )

Cell 检查单位

大尺寸Cell 检查(4”, 7”,10” 等)

Pattern 宽度

> 70㎛宽度为准±14㎛

线形异物宽度

> 21㎛ X 21㎛

线形异物长度

> 21㎛

OPEN 宽度

> 21㎛

SHORT 宽度

> 21㎛

TILT 量

>± 21㎛